nucВестник НЯЦ РКNNC RK Bulletin1729-75161729-7885Национальный ядерный центр Республики Казахстан10.52676/1729-7885-2021-2-30-41nuc-348Research ArticleСтатьиРАЗРАБОТКИ ТЕХНОЛОГИЙ ПОЛУЧЕНИЯ КАРБИДА КРЕМНИЯ (ОБЗОР)DEVELOPMENT OF TECHNOLOGIES OF SILICON CARBIDE PRODUCING (REVIEW)СемейкоК. В.SimeikoK. V.

Киев

Kyiv

МалиновскийА. И.Malinouski,A. I.

Минск

Minsk

ГребеньковA. Ж.GrebenkovA. Zh.

Минск

Minsk

СаенкоС. Ю.SayenkoS. Yu.

Харьков

Kharkov

ЛобачК. В.LobachK. V.

Харьков

Kharkov

КустовскаяА. Д.,KustovskaA. D.

Киев

Kyiv

ЛяпощенкоА. А.LiaposhchenkoO. O.

Сумы

Sumy

СклабинскийВ. И.SklabinskyiV. I.

Сумы

Sumy

Институт газа НАН Украины; Национальный авиационный университетУкраинаThe Gas Institute of the NASU; National Aviation UniversityUkraineИнститут тепло- и массообмена им. А.В. Лыкова НАН БеларусиБеларусьA.V. Luikov Heat and Mass Transfer Institute of NAS of BelarusBelarusНациональный научный центр «Харьковский физико-технический институт»УкраинаNational Science Center Kharkov Institute of Physics and TechnologyUkraineНациональный авиационный университетУкраинаNational Aviation UniversityUkraineСумской государственный университетУкраинаSumy State UniversityUkraine202117102021023041Copyright © Семейко К.В., Малиновский А.И., Гребеньков A.Ж., Саенко С.Ю., Лобач К.В., Кустовская А.Д., Ляпощенко А.А., Склабинский В.И., 20212021Семейко К.В., Малиновский А.И., Гребеньков A.Ж., Саенко С.Ю., Лобач К.В., Кустовская А.Д., Ляпощенко А.А., Склабинский В.И.Simeiko K.V., Malinouski, A.I., Grebenkov A.Z., Sayenko S.Y., Lobach K.V., Kustovska A.D., Liaposhchenko O.O., Sklabinskyi V.I.Данная работа распространяется под лицензией Creative Commons Attribution 4.0.This work is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 License.https://journals.nnc.kz/jour/article/view/348

В статье представлен краткий обзор промышленных технологий и результатов научных исследований процессов получения карбида кремния. Исследования по получению мелкодисперсного, пористого и наноразмерного карбида кремния проводятся в ведущих научно-исследовательских институтах и организациях мира. Среди научных задач, которые возникают перед исследователями, можно отметить снижение энергозатрат, повышение экологической безопасности промышленных технологий и чистоты готового продукта. Одним из перспективных способов получения карбида кремния является карботермическое восстановление капсулированного пироуглеродом кремнезема в реакторах с электротермическим псевдоожиженным слоем.

The article provides a brief overview of industrial technologies and scientific research of the silicon carbide production process. Research on the production of finely dispersed, porous and nano-sized silicon carbide is carried out in leading scientific institutions of the world. The main scientific tasks currently facing researchers are to reduce energy consumption, increase the environmental safety of industrial technologies, improve purity of the finished product. One of the promising methods for producing silicon carbide is the carbothermal reduction of silica encapsulated with pyrocarbon in reactors with an electrothermal fluidized bed.

карбид кремниякарботермическое восстановлениенаноматериалытолерантное ядерное топливоновые технологииsilicon carbidecarbothermal reductionnanomaterialstolerant nuclear fuelnew technologiesСтатья подготовлена в рамках международного научно-исследовательского проекта (совместный конкурс НАН Украины – НАН Беларуси) «Разработка и исследование энергоэффективной инновационной технологии синтеза мелкодисперсного карбида кремния с повышенной степенью чистоты в электротермическом кипящем слое» (№ госрегистрации: 0120U101740) и прикладных научно-исследовательских работ «Создание новых гранулированных материалов для ядерного топлива и катализаторов в активной гидродинамической среде» (МОН Украины, № госрегистрации: 0120U102036).ReferencesЛебедев А.А. О сравнении радиационной стойкости кремния и карбида кремния. – Физика и техника полупроводников [Текст] / А.А. Лебедев, В.В. Козловский // 2014, том 48, вып. 10. – C. 1329–1331.Lebedev A.A. O sravnenii radiatsionnoy stoykosti kremniya i karbida kremniya. – Fizika i tekhnika poluprovodnikov [Tekst] / A.A. Lebedev, V.V. Kozlovskiy // 2014, Vol. 48, Issue 10. – P. 1329–1331.Hrubcína L. Исследование радиоционной стойкости Siи SiCдетекторов на пучке ионов Хе. [Текст] / L. Hrubcína, Ю.Б. Гуровa, B. Zaťkob, О.М. Ивановa, С.В. Митрофановa, С.В. Розовa, В.Г. Сандуковский, В.А. Семинa, В.А. Скуратовa // Приборы и техника эксперимента. – 2018, № 6. – С. 5–7.Hrubcína L. Issledovanie radiotsionnoy stoykosti Sii SiCdetektorov na puchke ionov Khe. [Tekst] / L. Hrubcína, Yu.B. Gurova, B. Zaťkob, O.M. Ivanova, S.V. Mitrofanova, S.V. Rozova, V.G. Sandukovskiy, V.A. Semina, V.A. Skuratova // Pribory i tekhnika eksperimenta. – 2018, No. 6. – P. 5–7.Cozzo C. SiC Cladding Thermal Conductivity Requirements for Normal Operation and LOCA Conditions. [Текст] / C. Cozzo // Prog. Nucl. Eng. 2018, 106, P. 278– 283.Cozzo C. SiC Cladding Thermal Conductivity Requirements for Normal Operation and LOCA Conditions. [Tekst] / C. Cozzo // Prog. Nucl. Eng. 2018, 106, P. 278– 283.Гребенник В.Н. Высокотемпературные газоохлаждаемые реакторы – инновационное направления развитие атомной энергетики [Текст] / В.Н. Гребенник, Н.Е. Кухаркин, Н.Н. Пономарев-Степной // М.: Энергоатомиздат. 2008. – 136 с.Grebennik V.N. Vysokotemperaturnye gazookhlazhdaemye reaktory – innovatsionnoe napravleniya razvitie atomnoy energetiki [Tekst] / V.N. Grebennik, N.E. Kukharkin, N.N. Ponomarev-Stepnoy // M.: Energoatomizdat. 2008. – 136 p.Ahn K. Safety Evaluation of Silicon Carbide and Zircaloy4 Cladding during a Large-Break Loss-of-Coolant Accident [Текст] / K. Ahn, K. Joo, S.P. Park // Energies. 2018, 11, 3324. – 13 p. https://doi.org/10.3390/en11123324Ahn K. Safety Evaluation of Silicon Carbide and Zircaloy4 Cladding during a Large-Break Loss-of-Coolant Accident [Tekst] / K. Ahn, K. Joo, S.P. Park // Energies. 2018, 11, 3324. – 13 p. https://doi.org/10.3390/en11123324Silicon Carbide Market Size, Share & Trends Analysis Report By Product (Black & Green), By Application (Steel, Automotive, Aerospace, Military & Defense), By Region, And Segment Forecasts, 2020–2027. [Текст] Grand View Research is registered in the State of California at Grand View Research, Inc. San Francisco. 2020. – 94 p.Silicon Carbide Market Size, Share & Trends Analysis Report By Product (Black & Green), By Application (Steel, Automotive, Aerospace, Military & Defense), By Region, And Segment Forecasts, 2020 – 2027. [Tekst] Grand View Research is registered in the State of California at Grand View Research, Inc. San Francisco. 2020. – 94 p.Cheung R. Silicon carbide microelectromechanical systems for harsh environments [Текст] / R. Cheung // Imperial College Press. 2006. – 181 p.Cheung R. Silicon carbide microelectromechanical systems for harsh environments [Tekst] / R. Cheung // Imperial College Press. 2006. – 181 p.Takahiro Muranaka. Superconductivity in carrier-doped silicon carbide [Текст] / Takahiro Muranaka, Yoshitake Kikuchi, Taku Yoshizawa, Naoki Shirakawa, Jun Akimitsu // Science and Technology of Advanced Materials. Volume 9. 2008. – P. 4–8. https://doi.org/10.1088/14686996/9/4/044204Takahiro Muranaka. Superconductivity in carrier-doped silicon carbide [Tekst] / Takahiro Muranaka, Yoshitake Kikuchi, Taku Yoshizawa, Naoki Shirakawa, Jun Akimitsu // Science and Technology of Advanced Materials. Volume 9. 2008. – P. 4–8. https://doi.org/10.1088/14686996/9/4/044204Хенит Г. Карбид кремния [Текст] / Г. Хенита, Р. Рол // пер. с англ.; М. Мир: 1972. – 349 с.Khenit G. Karbid kremniya [Tekst] / G. Khenita, R. Rol // transl. from english.; Moscow. Mir: 1972. – 349 p.Pat. No. 17911 Great Britain. Synthese von SiC während des Schmelzprozesses. von Kohlenstoff und Aluminiumsilikaten. 1892.Pat. No. 17911 Great Britain. Synthese von SiC während des Schmelzprozesses. von Kohlenstoff und Aluminiumsilikaten. 1892.Pat. No. 492767 US. Production of artificial crystalline carbonaceous materials / E.G. Acheson // Applicant and patent holder: E.G. Acheson, Assingor to the carborundum company. applic. date: 10.05.1892; publ. date: 28.02.1893.Pat. No. 492767 US. Production of artificial crystalline carbonaceous materials / E.G. Acheson // Applicant and patent holder: E.G. Acheson, Assingor to the carborundum company. applic. date: 10.05.1892; publ. date: 28.02.1893.Агеев О.А. Карбид кремния: технология, свойства, применения [Текст] / О.А. Агеев, А.Е. Беляев, Н.С. Болтовец, В.С. Киселев, Р.В. Конакова, А.А. Лебедев, В.В. Миленин, О.Б. Охрименко, В.В. Поляков, А.М. Светличный, Д.И. Чередниченко / Под общей редакцией член-корр. НАНУ, д.ф.-м.н., проф. Беляева А.Е., д.т.н., проф. Конаковой Р.В. // Харьков: «ИСМА». 2010. – 532 с.Ageev O.A. Karbid kremniya: tekhnologiya, svoystva, primeneniya [Tekst] / O.A. Ageev, A.E. Belyaev, N.S. Boltovets, V.S. Kiselev, R.V. Konakova, A.A. Lebedev, V.V. Milenin, O.B. Okhrimenko, V.V. Polyakov, A.M. Svetlichnyy, D.I. Cherednichenko / Pod obshchey redaktsiey chlen-korr. NANU, d.f.-m.n., prof. Belyaeva A.E., d.t.n., prof. Konakovoy R.V. // Khar'kov: “ISMA”. 2010. – 532 p.Parmentier J. Formation of SiC via carbothermal reduction of a carbon –containing MCM-48 silica phase: a new route to produce high surface area SiC [Текст] / J. Parmentier et all. // Ceramics International, V.28, Issue 1, 2002. – P. 1– 7.Parmentier J. Formation of SiC via carbothermal reduction of a carbon –containing MCM-48 silica phase: a new route to produce high surface area SiC [Tekst] / J. Parmentier et all. // Ceramics International, V.28, Issue 1, 2002. – P. 1– 7.Coune G. and all, High porosity SiC prepared via a process involving an SHS stage [Текст] / G. Coune and all // Journal of the European Ceramic Society, Vol.23, Issue 11, 2003. – P. 1949–1956.Coune G. and all, High porosity SiC prepared via a process involving an SHS stage [Tekst] / G. Coune and all // Journal of the European Ceramic Society, Vol. 23, Issue 11, 2003. – P. 1949–1956.Yanjie Su. Carbon nanomaterials synthesized by arc discharge hot plasma [Текст] / Yanjie Su, Yafei Zhang // Carbon, Vol. 83. 2015. – P. 90–99.Yanjie Su. Carbon nanomaterials synthesized by arc discharge hot plasma [Tekst] / Yanjie Su, Yafei Zhang // Carbon, Vol. 83. 2015. – P. 90–99.Jieshan Qiu. Synthesis of carbon-encapsulated nickel nanocrystals by arc-dischargeof coal-based carbons in water [Текст] / Jieshan Qiu, Yongfeng Li, Yunpeng Wang, Zongbin Zhao, Ying Zhou, Yanguo Wang // Fuel, Vol. 83. 2004. – P. 615–617.Jieshan Qiu. Synthesis of carbon-encapsulated nickel nanocrystals by arc-dischargeof coal-based carbons in water [Tekst] / Jieshan Qiu, Yongfeng Li, Yunpeng Wang, Zongbin Zhao, Ying Zhou, Yanguo Wang // Fuel, Vol. 83. 2004. – P. 615–617.Jiang Zhao, Yanjie Su, Zhi Yang, Liangming Wei, Ying Wang, Yafei Zhang. Arc synthesis of double-walled carbon nanotubes in low pressure air and their superior field emission properties // Carbon. 2013. Vol. 58. – P. 92–98.Jiang Zhao, Yanjie Su, Zhi Yang, Liangming Wei, Ying Wang, Yafei Zhang. Arc synthesis of double-walled carbon nanotubes in low pressure air and their superior field emission properties // Carbon. 2013. Vol. 58. – P. 92–98.Yanjie Su. Low-cost synthesis of single-walled carbonnanotubes by low-pressure air arc discharge [Текст] / Yanjie Su, Hao Wei, Tongtong Li, Huijuan Geng, Yafei Zhang // Materials Research Bulletin. 2014. – P. 23–24.Yanjie Su. Low-cost synthesis of single-walled carbonnanotubes by low-pressure air arc discharge [Tekst] / Yanjie Su, Hao Wei, Tongtong Li, Huijuan Geng, Yafei Zhang // Materials Research Bulletin. 2014. – P. 23–24.Пак А.Я. Электродуговой синтез и очистка от углеродных примесей кубического карбида кремния в воздушной атмосфере [Текст] / А.Я. Пак, М. А. Рудмин, Г.Я. Мамонтов, О.А. Болотникова // Сверхтвердые материалы, № 3. 2018. – С. 3–12.Pak A.Ya. Elektrodugovoy sintez i ochistka ot uglerodnykh primesey kubicheskogo karbida kremniya v vozdushnoy atmosfere [Tekst] / A.Ya. Pak, M. A. Rudmin, G.Ya. Mamontov, O.A. Bolotnikova // Sverkhtverdye materialy, No. 3. 2018. – P. 3–12.Пак А.Я. Влияние энергии на фазовый состав продукта безвакуумного электродугового карбида кремния [Текст] / А.Я. Пак, Г.Я. Мамонтов, О.А. Болотникова // Вестник РУДН. Серия: Инженерные исследования, Т. 19, № 2. 2018. – С. 165–176.Pak A.Ya. Vliyanie energii na fazovyy sostav produkta bezvakuumnogo elektrodugovogo karbida kremniya [Tekst] / A.Ya. Pak, G.Ya. Mamontov, O.A. Bolotnikova // Vestnik RUDN. Seriya: Inzhenernye issledovaniya, Vol. 19, No. 2. 2018. – P. 165–176.Кокорина А.И. Электродуговой синтез карбида кремния и получение высоконаполенного металломатричного композита на его основе [Электрон. текстовые дан.] / А.И. Кокорина, А.Я. Пак // Междисциплинарные проблемы аддитивных технологий: сборник тезисов V Всероссийского научного семинара, 5–6 декабря 2019, Томск. – С. 37–38.Kokorina A.I. Elektrodugovoy sintez karbida kremniya i poluchenie vysokonapolennogo metallomatrichnogo kompozita na ego osnove [Elektron. tekstovye dan.] / A.I. Kokorina, A.Ya. Pak // Mezhdistsiplinarnye problemy additivnykh tekhnologiy: sbornik tezisov V Vserossiyskogo nauchnogo seminara, 5–6 dekabrya 2019, Tomsk. – P. 37–38.Андриевский Р.А. Наноразмерный карбид кремния: синтез, структура, свойства [Текст] / Р.А. Андриевский // Успехи химии, № 78(9). 2009. – С. 889–900.Andrievskiy R.A. Nanorazmernyy karbid kremniya: sintez, struktura, svoystva [Tekst] / R.A. Andrievskiy // Uspekhi khimii, No. 78(9). 2009. – P. 889–900.Севастьянов В.Г. Влияние природы прекурсоров высокодисперсного углерода на морфологию наночастиц карбида кремния [Текст] / В.Г. Севастьянов, Р.Г. Павелко, Н.Т. Кузнецов // Химическая технология, T. 1. 2007. – С. 12–17.Sevast'yanov V.G. Vliyanie prirody prekursorov vysokodispersnogo ugleroda na morfologiyu nanochastits karbida kremniya [Tekst] / V.G. Sevast'yanov, R.G. Pavelko, N.T. Kuznetsov // Khimicheskaya tekhnologiya, Vol. 1. 2007. – P. 12–17.Павелко Р.Г. Синтез высокодисперсных форм карбида кремния [Текст] : дис. ... канд. хим. наук: 02.00.01: защищена 24.05.2007 / Павелко Роман Георгиевич. – М.: 2007. – 222 с.Pavelko R.G. Sintez vysokodispersnykh form karbida kremniya [Tekst] : dis. ... kand. khim. nauk: 02.00.01: zashchishchena 24.05.2007 / Pavelko Roman Georgievich. – Moscow.: 2007. – 222 p.Московских Д.О. Самораспространяющийся высокотемпературный синтез нанопорошков карбида кремния [Текст] / Д.О. Московских, А.С. Мукасьян, А.С. Рогачев // Доклады Академии Наук. 2013. – Т. 449. – № 2. – С. 1–4.Moskovskikh D.O. Samorasprostranyayushchiysya vysokotemperaturnyy sintez nanoporoshkov karbida kremniya [Tekst] / D.O. Moskovskikh, A.S. Mukas'yan, A.S. Rogachev // Doklady Akademii Nauk. 2013. – Vol. 449. – No. 2. – P. 1–4.Сафаева Д.Р., Титова Ю.В., Майдан Д.А. Получение карбида кремния по азидной технологии с использованием различных источников углерода [Текст] / Д.Р. Сафаева, Ю.В. Титова, Д.А. Майдан // Современные материалы, техника и технологии, № 6(14). 2017. – С. 129–133.Safaeva D.R., Titova Yu.V., Maydan D.A. Poluchenie karbida kremniya po azidnoy tekhnologii s ispol'zovaniem razlichnykh istochnikov ugleroda [Tekst] / D.R. Safaeva, Yu.V. Titova, D.A. Maydan // Sovremennye materialy, tekhnika i tekhnologii, No. 6(14). 2017. – P. 129–133.Кондратьева Л. А. Самораспространяющийся высокотемпературный синтез порошков нитридных композиций Si3N4-TiN, Si3N4-AlN, Si3N4-BN, AlN-BN, AlNTiN, BN-TiN с применением азида натрия и галоидных солей [Текст]: дис. ... докт. техн. наук: 01.04.17: защищена: 28.09.2018 / Кондратьева, Людмила Александровна. Самара: 2018. – 881 с.Kondrat'eva L. A. Samorasprostranyayushchiysya vysokotemperaturnyy sintez poroshkov nitridnykh kompozitsiy Si3N4-TiN, Si3N4-AlN, Si3N4-BN, AlN-BN, AlN-TiN, BN-TiN s primeneniem azida natriya i galoidnykh soley [Tekst]: dis. ... dokt. tekhn. nauk: 01.04.17: zashchishchena: 28.09.2018 / Kondrat'eva, Lyudmila Aleksandrovna. Samara: 2018. – 881 p.Сивков А.А. Прямой плазмодинамический синтез ультра-дисперсного карбида кремния [Текст] / А.А. Сивков, Д.С. Никитин, А.Я. Пак, И.А. Рахматуллин // Письма в ЖТФ, Том 39. Вып. 2. 2013. – С.15–20.Sivkov A.A. Pryamoy plazmodinamicheskiy sintez ul'tradispersnogo karbida kremniya [Tekst] / A.A. Sivkov, D.S. Nikitin, A.Ya. Pak, I.A. Rakhmatullin // Pis'ma v ZhTF, Vol. 39. Issue 2. 2013. – P.15–20.Сивков А.А. Получение ультрадисперсного кристаллического карбида кремния методом плазмодинамического синтеза [Текст] / А.А. Сивков, Д.С. Никитин, А.Я. Пак, И.А. Рахматуллин // Сверхтвердые материалы, № 3. 2013. – С. 11–18.Sivkov A.A. Poluchenie ul'tradispersnogo kristallicheskogo karbida kremniya metodom plazmodinamicheskogo sinteza [Tekst] / A.A. Sivkov, D.S. Nikitin, A.Ya. Pak, I.A. Rakhmatullin // Sverkhtverdye materialy, No. 3. 2013. – P. 11–18.Никитин Д.С. Плазмодинамический синтез нанодисперсного карбида кремния и возможность изменения характеристик продукта [Текст] / Д.С. Никитин, А.А. Сивков / Вектор науки ТГУ, №3. 2013. – С. 80–82.Nikitin D.S. Plazmodinamicheskiy sintez nanodispersnogo karbida kremniya i vozmozhnost' izmeneniya kharakteristik produkta [Tekst] / D.S. Nikitin, A.A. Sivkov / Vektor nauki TGU, No. 3. 2013. – P. 80–82.Никитин Д.С. Плазмодинамический синтез нанодисперсного карбида кремния и управление составом продукта [Текст] / Д.С. Никитин // Материалы XХ Международной научно-практической конференции: «Современные техника и технологии» Секция 6: Материаловедение. 2014. – С. 71–72.Nikitin D.S. Plazmodinamicheskiy sintez nanodispersnogo karbida kremniya i upravlenie sostavom produkta [Tekst] / D.S. Nikitin // Materialy XKh Mezhdunarodnoy nauchnoprakticheskoy konferentsii: «Sovremennye tekhnika i tekhnologii» Sektsiya 6: Materialovedenie. 2014. – P. 71– 72.Manuel Alejandro Perez-Guzman. Growth and SelfAssembly of Silicon–Silicon Carbide Nanoparticles into Hybrid Worm-Like Nanostructures at the Silicon Wafer Surface [Текст] / Manuel Alejandro Perez-Guzman, Rebeca Ortega-Amaya, Yasuhiro Matsumoto, Andres Mauricio Espinoza-Rivas, Juan Morales-Corona, Jaime Santoyo-Salazar, Mauricio Ortega-Lopez // Nanomaterials, No. 8 (954). 2018. – P. 47–56. https://doi.org/10.3390/nano8110954Manuel Alejandro Perez-Guzman. Growth and SelfAssembly of Silicon–Silicon Carbide Nanoparticles into Hybrid Worm-Like Nanostructures at the Silicon Wafer Surface [Tekst] / Manuel Alejandro Perez-Guzman, Rebeca Ortega-Amaya, Yasuhiro Matsumoto, Andres Mauricio Espinoza-Rivas, Juan Morales-Corona, Jaime Santoyo-Salazar, Mauricio Ortega-Lopez // Nanomaterials, No. 8 (954). 2018. – P. 47–56. https://doi.org/10.3390/nano8110954Liu, R. Large-scale synthesis of monodisperse SiC nanoparticles with adjustable size, stoichiometric ratio and properties by fluidized bed chemical vapor deposition [Текст] / R. Liu, M. Liu, J. Chang // Journal of Nanoparticle Research, No. 19. 2017. – P. 42–48. https://doi.org/10.1007/s11051-016-3737-yLiu, R. Large-scale synthesis of monodisperse SiC nanoparticles with adjustable size, stoichiometric ratio and properties by fluidized bed chemical vapor deposition [Tekst] / R. Liu, M. Liu, J. Chang // Journal of Nanoparticle Research, No. 19. 2017. – P. 42–48. https://doi.org/ 10.1007/s11051-016-3737-yMita Dasog. Low temperature synthesis of silicon carbide nanomaterials using a solid-state method [Текст] / Mita Dasog, Larissa F. Smith, Tapas K. Purkait, Jonathan G. C. Veinot // Chemical Communication, No. 49. 2013. – P. 7004–7006. https://doi.org/10.1039/c3cc43625jMita Dasog. Low temperature synthesis of silicon carbide nanomaterials using a solid-state method [Tekst] / Mita Dasog, Larissa F. Smith, Tapas K. Purkait, Jonathan G. C. Veinot // Chemical Communication, No. 49. 2013. – P. 7004–7006. https://doi.org/10.1039/c3cc43625jIvanov P.A. Effective Carrier Concentration in Porous Silicon Carbide [Текст] / P.A. Ivanov, M.G. Mynbaeva, S.E. Saddow // Semicond. Sci. Technol., Vol. 19, No 3. 2004. – P. 319–322.Ivanov P.A. Effective Carrier Concentration in Porous Silicon Carbide [Tekst] / P.A. Ivanov, M.G. Mynbaeva, S.E. Saddow // Semicond. Sci. Technol., Vol. 19, No. 3. 2004. – P. 319–322.Matsumoto T. Blue-Green Luminescence from Porous Silicon Carbide [Текст] / T. Matsumoto, J. Takahashi, T. Tamaki, T. Furtagi // Applied Physics Letter, Vol. 64(2). 1994. – P. 226–228. https://doi.org/10.1063/1.111979Matsumoto T. Blue-Green Luminescence from Porous Silicon Carbide [Tekst] / T. Matsumoto, J. Takahashi, T. Tamaki, T. Furtagi // Applied Physics Letter, Vol. 64(2). 1994. – P. 226–228. https://doi.org/10.1063/1.111979Shor J.S. Direct observation of porous SiC formed by anodization in HF [Текст] / J.S. Shor, J. Grinerg, B.Z. Weiss., A.D. Kzurz // Applied Physics Letters, Vol. 62. 1993 – P. 2836–2838.Shor J.S. Direct observation of porous SiC formed by anodization in HF [Tekst] / J.S. Shor, J. Grinerg, B.Z. Weiss., A.D. Kzurz // Applied Physics Letters, Vol. 62. 1993 – P. 2836–2838.Светличная П.А. Получение и свойства пористого карбида кремния [Текст] / П.А. Светличная, Н.Н. Московченко, П.В. Серба // Технология и конструирование в электронной аппаратуре, № 1. 2005.– С. 53–57.Svetlichnaya P.A. Poluchenie i svoystva poristogo karbida kremniya [Tekst] / P.A. Svetlichnaya, N.N. Moskovchenko, P.V. Serba // Tekhnologiya i konstruirovanie v elektronnoy apparature, No. 1. 2005.– P. 53–57.Сорокин Л.М. Особенности структуры пористого карбида крения, полученного электрохимическим травленим на положках 6H-SiC [Текст] / Л.М. Сорокин, Н.С. Савкина, В.Б. Шуман, А.А. Лебедев, Г.Н. Мосина, Дж. Хатчисон // Письма в ЖТФ, Том 28, вып. 22. 2002. – С. 23–31.Sorokin L.M. Osobennosti struktury poristogo karbida kreniya, poluchennogo elektrokhimicheskim travlenim na polozhkakh 6H-SiC [Tekst] / L.M. Sorokin, N.S. Savkina, V.B. Shuman, A.A. Lebedev, G.N. Mosina, Dzh. Khatchison // Pis'ma v ZhTF, Vol. 28, Issue 22. 2002. – P. 23–31.Hongsheng. Influence of sintering atmosphere on the performance of porous silicon carbide ceramics [Текст] / Hongsheng, Kaihong Zhang, Ziqiang Li, Xiaoxue Liu // Proceedings 4th International Conference on Machinery, Materials and Computing Technology. 2016. – P. 150– 155.Hongsheng. Influence of sintering atmosphere on the performance of porous silicon carbide ceramics [Tekst] / Hongsheng, Kaihong Zhang, Ziqiang Li, Xiaoxue Liu // Proceedings 4th International Conference on Machinery, Materials and Computing Technology. 2016. – P. 150– 155.Ferraro, C., Garcia-Tunon, E., Barg, S., Miranda, M., Ni, N., Bell, R., Saiz, E. SiC porous structures obtained with innovative shaping technologies. [Текст] / C. Ferraro, E. Garcia-Tunon, S. Barg, M. Miranda, N. Ni, R. Bell, E. Saiz // Journal of the European Ceramic Society, Vol. 38, Issue 3. 2018. – P. 823–835. https://doi.org/10.1016/j.jeurceramsoc.2017.09.048Ferraro, C., Garcia-Tunon, E., Barg, S., Miranda, M., Ni, N., Bell, R., Saiz, E. SiC porous structures obtained with innovative shaping technologies. [Tekst] / C. Ferraro, E. Garcia-Tunon, S. Barg, M. Miranda, N. Ni, R. Bell, E. Saiz // Journal of the European Ceramic Society, Volume 38, Issue 3. 2018. – P. 823–835. https://doi.org/10.1016/ j.jeurceramsoc.2017.09.048Бородуля В.А., Виноградов Л.М., Гребеньков А.Ж., Михайлов А.А. Синтез карбида кремния в электротермическом реакторе с кипящим слоем углеродных частиц [Текст] / В.А. Бородуля, Л.М. Виноградов, А.Ж. Гребеньков, А.А. Михайлов // Горение и плазмохимия, Т. 13, № 2. 2015. – С. 92–102.Borodulya V.A., Vinogradov L.M., Greben'kov A.Zh., Mikhaylov A.A. Sintez karbida kremniya v elektrotermicheskom reaktore s kipyashchim sloem uglerodnykh chastits [Tekst] / V.A. Borodulya, L.M. Vinogradov, A.Zh. Greben'kov, A.A. Mikhaylov // Gorenie i plazmokhimiya, Vol. 13, No. 2. 2015. – P. 92–102.Бородуля В.А. Карботермический синтез пористых порошков карбида кремния в реакторе электротермического кипящего слоя и перспективы его использования в полимерных композитах [Текст] / В.А. Бородуля, Л.М. Виноградов, А.Ж. Гребеньков, В.И. Дубкова, А.А. Михайлов, Т.И. Пинчук // Материалы 6-го Международного симпозиума «Пористые проницаемые материалы и технологии и изделия на их основе». 19–20 октября 2017 г., Минск. – С. 524–538.Borodulya V.A. Karbotermicheskiy sintez poristykh poroshkov karbida kremniya v reaktore elektrotermicheskogo kipyashchego sloya i perspektivy ego ispol'zovaniya v polimernykh kompozitakh [Tekst] / V.A. Borodulya, L.M. Vinogradov, A.Zh. Greben'kov, V.I. Dubkova, A.A. Mikhaylov, T.I. Pinchuk // Materialy 6-go Mezhdunarodnogo simpoziuma «Poristye pronitsaemye materialy i tekhnologii i izdeliya na ikh osnove». 19–20 oktyabrya 2017 g., Minsk. – P. 524–538.Бородуля В.А. Синтез карбидокремниевых порошковых материалов карботермическим восстановление кремнезема в реакторе электротермического кипящего слоя [Текст] / В.А. Бородуля, Л.М. Виноградов, А.Ж. Гребеньков, А.А. Михайлов // Сборник научных статей «Порошковая металлургия в Беларуси: Вызовы времени». 2017. – С. 357–366.Borodulya V.A. Sintez karbidokremnievykh poroshkovykh materialov karbotermicheskim vosstanovlenie kremnezema v reaktore elektrotermicheskogo kipyashchego sloya [Tekst] / V.A. Borodulya, L.M. Vinogradov, A.Zh. Greben'kov, A.A. Mikhaylov // Sbornik nauchnykh statey «Poroshkovaya metallurgiya v Belarusi: Vyzovy vremeni». 2017. – P. 357–366.Дубкова В.И., Наночастицы мелкодисперсного карбида кремния полученного в электротермическом кипящем слое – структурный модификатор термопластичных полимеров [Текст] / В.И. Дубкова, В.А.Бородуля, Л.М. Виноградов, С.М. Данилова-Третьяк, Л.Е Евсеева., Т.И. Пинчук // ИФЖ, Том 92, № 5. 2019. – С. 2291– 2305.Dubkova V.I., Nanochastitsy melkodispersnogo karbida kremniya poluchennogo v elektrotermicheskom kipyashchem sloe – strukturnyy modifikator termoplastichnykh polimerov [Tekst] / V.I. Dubkova, V.A.Borodulya, L.M. Vinogradov, S.M. Danilova-Tret'yak, L.E Evseeva., T.I. Pinchuk // IFZh, Vol. 92, No. 5. 2019. – P. 2291–2305.Евразийский патент ЕА № 027539, МПК С01В 31/36 (2006.01), С01В 31/00 (2006.01), B01J 8/00 (2006.01). Способ и установка для получения карбида кремния / В.А. Бородуля, Л.М. Виноградов, А.Ж. Гребеньков, А.А. Михайлов; заявитель и собственник патента: Государственное научное учреждение «Институт теплои масообмена им. А.В. Лыкова Национальной академии наук Беларуси». – № 20150055; заявл. 07.05.2015; опубл. 31.08.2017.Evraziyskiy patent EA № 027539, MPK S01V 31/36 (2006.01), S01V 31/00 (2006.01), B01J 8/00 (2006.01). Sposob i ustanovka dlya polucheniya karbida kremniya / V.A. Borodulya, L.M. Vinogradov, A.Zh. Greben'kov, A.A. Mikhaylov; zayavitel' i sobstvennik patenta: Gosudarstvennoe nauchnoe uchrezhdenie «Institut teploi masoobmena im. A.V. Lykova Natsional'noy akademii nauk Belarusi». – No. 20150055; zayavl. 07.05.2015; opubl. 31.08.2017.Пат. 146598 Україна, МПК C23C16/26. Спосіб одержання піровуглецю / К.В. Сімейко, В.О. Бородуля, С.Ю. Саєнко, К.В. Лобач, О.П. Кожан, В.М. Дмітрієв М.А. Сидоренко, Я.О. Івачкін, О.В. Марасін, С.С. Кустовський, Р.Є. Чумак; заявник і патентовласник: Інститут газу НАН України. – № u 202006806; заявл. 22.10.2020; опубл. 04.03.2021.Pat. 146598 Ukraїna, MPK C23C16/26. Sposіb oderzhannya pіrovugletsyu / K.V. Sіmeiko, V.O. Borodulya, S.Yu. Saenko, K.V. Lobach, O.P. Kozhan, V.M. Dmіtrієv M.A. Sidorenko, Ya.O. Іvachkіn, O.V. Marasіn, S.S. Kustovs'kiy, R.Є. Chumak; zayavnik і patentovlasnik: Іnstitut gazu NAN Ukraїni. – No. u 202006806; zayavl. 22.10.2020; opubl. 04.03.2021.Пат. 133969 Україна, МПК (2019.01) C04B 3500, C04B 35/56 (2006.01) C01B 32/956 (2017.01). Спосіб одержання карбіду кремнію / К.В. Сімейко, Б.І. Бондаренко, В.А. Бородуля, Л.М. Виноградов, А.Ж. Гребеньков, О.П. Кожан, В.М. Дмітрієв, В.С. Рябчук, М.А. Сидоренко, І.О. Писаренко; заявник і патентовласник: Інститут газу НАН України. – № u 201811907; заявл. 3.12.2018; опубл. 25.04.2019.Pat. 133969 Ukraїna, MPK (2019.01) C04B 3500, C04B 35/56 (2006.01) C01B 32/956 (2017.01). Sposіb oderzhannya karbіdu kremnіyu / K.V. Sіmeiko, B.І. Bondarenko, V.A. Borodulya, L.M. Vinogradov, A.Zh. Greben'kov, O.P. Kozhan, V.M. Dmіtrіev, V.S. Ryabchuk, M.A. Sidorenko, І.O. Pisarenko; zayavnik і patentovlasnik: Іnstitut gazu NAN Ukraїni. – No. u 201811907; zayavl. 3.12.2018; opubl. 25.04.2019.Семейко К.В. Развитие некоторых сопутствующих технологий ядерных реакторов с газовым теплоносителем IV поколения / К.В. Семейко // Вестник Национального ядерного центра Республики Казахстан. – 2019. – Выпуск 3 (79). – С. 24–29.Simeiko K.V. Razvitie nekotorykh soputstvuyushchikh tekhnologiy yadernykh reaktorov s gazovym teplonositelem IV pokoleniya / K.V. Simeiko // Vestnik Natsional'nogo yadernogo tsentra Respubliki Kazakhstan. – 2019. – No. 3 (79). – P. 24–29.Сімейко К.В. Науково-технологічні основи високотемпературних процесів у електротермічному псевдозрідженому шарі. дис. … докт. техн. наук. 05.17.08, захищена 26.03.2021 / Сімейко Костянтин Віталійович. Львів, 2021. – 391 с.Sіmeiko K.V. Naukovo-tekhnologіchnі osnovi visokotemperaturnikh protsesіv u elektrotermіchnomu psevdozrіdzhenomu sharі. dis. … dokt. tekhn. nauk. 05.17.08, zakhishchena 26.03.2021 / Sіmeiko Kostyantin Vіtalіyovich. L'vіv, 2021. – 391 p.

The authors declare that there are no conflicts of interest present.