ИЗМЕНЕНИЕ СТРУКТУРНЫХ СВОЙСТВ Cu ПЛЕНОК В РЕЗУЛЬТАТЕ ВОЗДЕЙСТВИЯ НИЗКОЭНЕРГЕТИЧНЫХ ИОНОВ
Аннотация
В работе представлены результаты исследований влияния облучения низкоэнергетичными ионами Не+2 с энергией 30 кэВ (15 кэВ на заряд) на структурные свойства Cu пленок. В результате облучения исходных образцов ионами Не+2 дозой 1·1016 ион/см2 наблюдается изменение морфологии поверхности Cu пленок, образование наноразмерных включений шестигранной формы. Увеличение дозы облучения до 1·1017 ион/см2 и выше приводит к формированию трещин и аморфных оксидных включений на поверхности образца. Установлено, что увеличение дозы облучения приводит к снижению степени кристалличности и изменению основных кристаллографических характеристик.
Об авторах
М. Е. Калиекперов
Евразийский национальный университет им. Л.Н. Гумилева;
Институт ядерной физики
Казахстан
Казахстан
Астана;
Алматы
Д. И. Шлимас
Евразийский национальный университет им. Л.Н. Гумилева;
Институт ядерной физики
Казахстан
Казахстан
Астана;
Алматы
А. Л. Козловский
Евразийский национальный университет им. Л.Н. Гумилева;
Институт ядерной физики
Казахстан
Казахстан
Астана;
Алматы
К. К. Кадыржанов
Евразийский национальный университет им. Л.Н. Гумилева
Казахстан
Казахстан
Астана
Список литературы
1. Kim J. Y., Kim Y. G., Stickney J. L. Cu nanofilm formation by electrochemical atomic layer deposition (ALD) in the presence of chloride ions //Journal of Electroanalytical Chemistry. – 2008. – V. 621. – №. 2. – P. 205–213.
2. Huang C. et al. Electron mean free path model for rectangular nanowire, nanofilm and nanoparticle //Physica B: Condensed Matter. – 2014. – V. 438. – P. 17–21.
3. Gebregziabiher D. K. et al. Electrochemical atomic layer deposition of copper nanofilms on ruthenium //Journal of Crystal Growth. – 2010. – V. 312. – №. 8. – P. 1271–1276.
4. Hao J. et al. Surface modification of silver nanofilms for improved perchlorate detection by surface-enhanced Raman scattering //Journal of colloid and interface science. – 2012. – V. 377. – №. 1. – P. 51–57.
5. Gao Y. et al. Radiation tolerance of Cu/W multilayered nanocomposites //Journal of Nuclear Materials. – 2011. – V. 413. – № 1. – P. 11–15.
6. Liu X. et al. A high-performance UV/visible photodetector of Cu 2 O/ZnO hybrid nanofilms on SWNT-based flexible conducting substrates //Journal of Materials Chemistry C. – 2014. – V. 2. – №. 44. – P. 9536–9542.
7. Hong M. et al. Size-dependent radiation tolerance and corrosion resistance in ion irradiated CrN/AlTiN nanofilms //Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms. – 2015. – V. 342. – P. 137–143.
8. Dong L. et al. Period-thickness dependent responses of Cu/W multilayered nanofilms to ions irradiation under different ion energies //Journal of Nuclear Materials. – 2017. – V. 497. – P. 117–127.
9. Wang L. et al. The Evolution Behavior of Defects in the Nanofilms of W/Cu and W Probed by Doppler Broadening Positron Annihilation Spectroscopy //Defect and Diffusion Forum. – Trans Tech Publications, 2016. – V. 373. – P. 104–107.
10. Wang H. et al. Enhanced radiation tolerance of YSZ/Al2O3 multilayered nanofilms with pre-existing nanovoids //Acta Materialia. – 2018. – V. 144. – P. 691–699.
Рецензия
При поддержке: Работа выполнена в рамках Грантового финансирования МОН РК по договору №132 от 12 марта 2018 года.
Для цитирования:
Калиекперов М.Е., Шлимас Д.И., Козловский А.Л., Кадыржанов К.К. ИЗМЕНЕНИЕ СТРУКТУРНЫХ СВОЙСТВ Cu ПЛЕНОК В РЕЗУЛЬТАТЕ ВОЗДЕЙСТВИЯ НИЗКОЭНЕРГЕТИЧНЫХ ИОНОВ. Вестник НЯЦ РК. 2018;(3):83-86. https://doi.org/10.52676/1729-7885-2018-3-83-86
For citation:
Kaliekperov M.E., Shlimas D.I., Kozlovskiy A.L., Kadyrzhanov K.K. CHANGES OF STRUCTURAL PROPERTIES OF Cu FILMS AS RESULTS OF IMPACT OF LOW-POWER ENERGY IONS. NNC RK Bulletin. 2018;(3):83-86. (In Russ.) https://doi.org/10.52676/1729-7885-2018-3-83-86
Просмотров: 142
Послать статью по эл. почте 