РЕАКТИВТІ МАГНЕТРОНДЫ ШАШЫРАУ ӘДІСІМЕН ЖАСАЛҒАН АЗОТ ҚОСЫЛҒАН ТИТАН ДИОКСИДІ ТИТАНЫ ҚАПТАМАСЫНЫҢ ҚҰРЫЛЫМДЫҚ-ФАЗАЛЫҚ КҮЙІН ЗЕРТТЕУ
https://doi.org/10.52676/1729-7885-2020-2-21-25
Аңдатпа
Жұмыста 12Х18Н10Т тот баспайтын болатқа жағылған реактивті-магнетронды шашырау әдісімнен алынған
титан диоксиді қаптамасына N2және O2реактивті газдарының әсерін зерттеу нәтижелері берілген. Қаптамаларға жүргізілген рентгендік-фазалық талдаулары анатаз, рутил және аз мөлшердегі брукит үлгісіндегі дитан диоксидінің бар екенін көрсетеді. Жұмыстық атмосферадағы азоттың көбеюі, анатаз бен рутилдің көбеюіне әкелетіні көрсетілді. Газдық атмосферадағы азот мөлшерінің артуы, блоктық құрылымы бар бірқалыпты беткі қабаттың түзілуне әкеледі. Наноиндентирлеу нәтижелеріне қарап, бір қалыпты беттің түзілуі, қаптаманың физико-механикалық параметрлерінің төмендеуіне байланысты деп болжам жасауға болады. Қаптаманың құрылысы, фазалық құрамы және механикалық құрылымы және теріс ығысу режиміндегі N2/O2газдарының қатынасына байланысты екені көрсетілді(Uығысу = −150 В).
Авторлар туралы
Д. М. Аубакирова
Д. Серікбаев атындағы Шығыс-Қазақстан мемлекеттік техникалық университеті
Қазақстан
Өскемен
Қазақстан
Өскемен
В. Ф. Пичугин
Томск политехникалық университеті
Ресей
Томск
Ресей
Томск
Н. К. Ердыбаева
Д. Серікбаев атындағы Шығыс-Қазақстан мемлекеттік техникалық университеті
Қазақстан
Өскемен
Қазақстан
Өскемен
Ж. Б. Сағдолдина
С. Аманжолов атындағы Шығыс-Қазақстан мемлекеттік университеті
Қазақстан
Өскемен
Қазақстан
Өскемен
Әдебиет тізімі
1. Wuyou Fua, Haibin Yangab, Lianxia Changa. Hari-Balab Minghua, Lic Guangtian Zoua. Anatase TiO2 nanolayer coating on strontium ferrite nanoparticles for magnetic photocatalyst //Colloids and Surfaces A: Physicochemical and Engineering Aspects. – 2006. – V. 289. – P. 47–52.
2. Manuel Lunaa José, M. Gaticab Hilario, Vidalb Maria, J. Mosqueraa. Use of Au/N-TiO2/SiO2 photocatalysts in building materials with NO depolluting activity //Journal of Cleaner Production, – 2020. – V. –Р. 243118633.
3. Hong Zhonga Yuanhao, Wangb Hongxing. A novel transparent thermal insulation bilayer coating based on ATO/Black TiO2 //Energy Procedia. –2019. –V. 158. – P. 1072–1079.
4. Diamanti M.V., Del Curto B., Pedeferri M.P. Interference colors of thin oxide layers on titanium, Colour Res. – 2008. –V. 33. – P. 221–228.
5. Zdunek K., L. Skowronski, R. Chodun, K. Nowakowska-Langier, GrabowskiA., WachowiakW., OkrasaS., WachowiakA.A., StraussO., WronkowskiA., DomanowskiP. Nowel GIMS technique for deposition of colored Ti/TiO2 coatings in industrial scale // Materials science-Poland. – 2016. –V. 34. – P. 137–141.
6. Zalnezhad E.A., Hamouda M.S., Faraji G. and Shamshirband S. TiO2 nanotube coating on stainless steel 304 for biomedical applications. Ceramics International. – 2015. – V. 41. – P. 2785–2793.
7. Wu S. Functionalized TiO2 based nanomaterials for biomedical applications //Advanced Functional Materials. – 2014. – V. 24(35). – P. 5464–5481.
8. Krishna D., Sun Y, Chen Z. Magnetron sputtered TiO2 films on a stainless steel substrate: selective rutile phase formation and its tribological and anti-corrosion performance //Thin Solid Films. – 2011. – V. 519. – P. 48604864.
9. Shan C, Hou X, Choy K. Corrosion resistance of TiO2 films grown on stainless steel by atomic layer deposition //Surface and Coatings Technology. – 2008. –V. 202. – P. 23992402.
10. Zhi-Yong Y., Zhang W, Ming M., Xiaoli C. Visible light photoelectrochemical response of nitrogen-doped TiO2 thin films prepared by anodic oxidation of titanium nitride films //Acta Physico-Chimica Sinica. – 2009. – V. 25. – P. 3540.
11. Vicente G.S., Morales A., Gutierrez M.T. Preparation and characterization of sol-gel TiO2 antireflective coatings for silicon //Thin Solid Films. – 2001. – V. 403. – P. 335–338.
12. Chang C.Y., Hsieh Y.H., Chen Y.Y. Degradation of Semiconductor manufacturing Wastewater by Using a Novel magnetic Composite TiO2/Fe3O4 Photoreactor Design //Journal of Nanomaterials. – 2012. –V. 20. – P. 1–6.
13. Пичугин В.Ф. Растворение invitro, структурные и электрокинетические характеристики оксинитридных покрытий титана, полученных методом реактивного магнетронного распыления // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. – 2016. – № 3. – С. 19–29.
14. Wang H., Tang B., Xiu-yan L. Microstructure and Wear Resistance of N-Doped TiO, Coatings Grown on Stainless Steel by Plasma Surface Alloying Technology //Journal of Iron and Steel Research, International. – 2011. – V. 18. –P. 73–78.
15. López-Huerta F., Cervantes B., González O., Hernández-Torres J., García-González L., Vega R., Herrera-May A.L., Soto E. Biocompatibility and Surface Properties of TiO₂ Thin Films Deposited by DC Magnetron Sputtering //Materials. – 2014. – V. 7. – P. 4105–4117.
16. Saoula N., Djerourou S., Yahiaoui K., Henda K., Kesri R., Erasmus R.M., Comins J.D., Study of the deposition of Ti/TiN multilayers by magnetron sputtering//Surface Interface Analysis. – 2010. – V. 42. – P. 1176–1179.
17. Martin N., Baretti D., Rousselot C., Rauch J.Y. The effect of bias power on some properties of titanium and titanium oxide films prepared by r.f. magnetron sputtering //Surface Coating Technology. – 1998. – V. 107. – P. 172–182.
18. Chuang L.C., Luo C.H. Progress in La-doped SrTiO3 (LST)-based anode materials for solid oxide fuel cells//Advanced Materials Research. – 2011. – V. 214. –P. 388–391.
19. Baita L., Azzouzb L., Madaouia N., Saoulaa N. Influence of substrate bias voltage on the properties of TiO2 deposited by radio-frequency magnetron sputtering on 304L for biomaterials applications //Applied Surface Science. – 2017. – V. 395. – P. 72–77.
20. Pustovalova A., Ivanova N. Structural changes of titanium dioxide thin films deposited by reactive magnetron sputtering through nitrogen incorporation //Key Engineering Materials. – 2016. – Т. 683. – С. 383–388.
Рецензия
Дәйектеу үшін:
Аубакирова Д.М., Пичугин В.Ф., Ердыбаева Н.К., Сағдолдина Ж.Б. РЕАКТИВТІ МАГНЕТРОНДЫ ШАШЫРАУ ӘДІСІМЕН ЖАСАЛҒАН АЗОТ ҚОСЫЛҒАН ТИТАН ДИОКСИДІ ТИТАНЫ ҚАПТАМАСЫНЫҢ ҚҰРЫЛЫМДЫҚ-ФАЗАЛЫҚ КҮЙІН ЗЕРТТЕУ. ҚР ҰЯО жаршысы. 2020;(2):21-25. https://doi.org/10.52676/1729-7885-2020-2-21-25
For citation:
Aubakirova D.M., Pichugin V.F., Yerdybaeva N.K., Sagdoldina Zh.B. STUDY OF THE STRUCTURAL-PHASE STATE OF NITROGEN – CONTAINING COATINGS OF TITANIUM DIOXIDE SYNTHESIZED BY THE REACTIVE MAGNETRON SPUTTERING. NNC RK Bulletin. 2020;(2):21-25. (In Russ.) https://doi.org/10.52676/1729-7885-2020-2-21-25
Қараулар:
290
Мақаланы эл. пошта арқылы жіберу 