MoCrN ЖАБЫНДАРЫНЫҢ БЕРІКТІК СИПАТТАМАЛАРЫНЫҢ ӨЗГЕРУІНЕ БҮРКУ ЖАҒДАЙЛАРЫНЫҢ ВАРИАЦИЯСЫН ЗЕРТТЕУ

Молибден мен хромның нитридті қосылыстарына негізделген жұқа қабықшалы қорғаныс жабындарына деген қызығушылық оларды тозуға төзімді коррозияға қарсы жабындар ретінде пайдаланудың үлкен перспективаларына байланысты, олар механикалық үйкеліс, қысым және коррозия процестері түріндегі сыртқы әсерлерге, агрессивті ортаға, су тасқынына немесе жоғары температураға ұшыраған кезде жоғары төзімділікке ие. Алайда, нитридті жабындардың тұрақтылық көрсеткіштері, ең алдымен, оларды алу шарттарымен анықталады, олар магнетронды бүрку қуатына тәуелді емес, оның өзгеруі жабындардың құрамындағы элементтердің қатынасын өзгертуге мүмкіндік береді. Жүргізілген зерттеулердің негізгі мақсаты бүрку қуатының өзгеруі кезінде жабындарды алу шарттарына байланысты индекстеу әдісімен өлшенген беріктік сипаттамаларын өлшеу, сондай-ақ жұқа қабықшалы жабындарды алу шарттарының вариациясының қаттылық пен қатаю факторларының өзгеруіне әсерін анықтау болып табылады. Ұсынылған мәліметтерге сәйкес, қуаттың өзгеруі арқылы магнетронды бүрку жағдайларының өзгеруі сыртқы жүктеме өзгерген кезде крекингке жоғары төзімділікке ие күшті төзімді жабындардың пайда болуына әкеледі. Жүргізілген зерттеулер барысында жабындардың құрамындағы молибден концентрациясының ұлғаюына әкелетін жабындардың магнетронды тозаңдану жағдайларының өзгеруі 60–80%-дан астам қатаюына, сондай-ақ сыртқы әсерлерде жарылуға төзімділіктің артуына әкелетіні анықталды.

1. Aissani L. et al. Magnetron sputtering of transition metal nitride thin films for environmental remediation // Coatings. – 2022. – Vol. 12. – No. 11. – P. 1746.

2. Medina L. Z. et al. Enhancing corrosion resistance, hardness, and crack resistance in magnetron sputtered high entropy CoCrFeMnNi coatings by adding carbon // Materials & Design. – 2021. – Vol. 205. – P. 109711.

3. Sathish M., Radhika N., Saleh B. Current Status, Challenges, and Future Prospects of Thin Film Coating Techniques and Coating Structures //Journal of Bio-and Tribo-Corrosion. – 2023. – Vol. 9. – No. 2. – P. 35.

4. Constantin D. G. et al. Magnetron sputtering technique used for coatings deposition; technologies and applications // 7th International Conference on Materials Science and Engineering. – 2011. – Vol. 12. – P. 29–33.

5. Rachbauer R., Holec D., Mayrhofer P. H. Increased thermal stability of Ti–Al–N thin films by Ta alloying // Surface and Coatings Technology. – 2012. – Vol. 211. – P. 98–103.

6. Jung M. J. et al. Deposition of Ti thin film using the magnetron sputtering method //Thin Solid Films. – 2003. – Vol. 435. – No. 1–2. – P. 145–149.

7. Safi I. Recent aspects concerning DC reactive magnetron sputtering of thin films: a review // Surface and Coatings Technology. – 2000. – Vol. 127. – No. 2–3. – P. 203–218.

8. Ru L. et al. Hydrophobic, anticorrosion, and frictional properties of F-DLC films prepared by magnetron sputtering // Vacuum. – 2023. – Vol. 217. – P. 112567.

9. Heidari E., Atapour M., Obeydavi A. The effect of Crcontent on the corrosion behavior of Ti0.5Mo0.5CoNiMnCrx high-entropy alloy thin films deposited by direct current magnetron sputtering // Journal of Alloys and Compounds. – 2024. – Vol. 976. – P. 173265.

10. Shi Z. et al. Improvement on corrosion resistance of sintered Nd-Fe-B with bilayer Al/Cr thin films // Journal of magnetism and magnetic materials. – 2023. – Vol. 565. – P. 170222.

11. Castro J. D. et al. Wettability and corrosion resistance of zirconium nitride films obtained via reactive high-power impulse magnetron sputtering // Journal of Vacuum Science & Technology A. – 2023. – Vol. 41. – No. 2. – P. 1–10.

12. Zhang X. et al. Microstructure, mechanical and corrosion behavior of CrNx/Al2O3 multilayer films deposited by magnetron sputtering // Materials Today Communications. – 2024. – P. 108976.

13. Shi X. et al. Anti-corrosive yet color-tunable AlN/Si multilayer hard coatings on 304 stainless steel by magnetron sputtering // Ceramics International. – 2024. – Vol. 50. – No. 1. – P. 1166–1178.

14. Ghantasala S. B., Sharma S. Magnetron sputtered thin films based on transition metal nitride: structure and properties // Physica Status Solidi (a). – 2023. – Vol. 220. – No. 2. – P. 2200229.

15. Баймолданова Л. С. и др. Краткий обзор способов получения покрытий TiSiCN и метода реактивноплазменного напыления // Вестник НЯЦ РК. – 2024. – № 1. – С. 13–23. https://doi.org/10.52676/1729-7885-2024-1-13-23

16. Postolnyi B. O. et al. Multilayer design of CrN/MoN protective coatings for enhanced hardness and toughness // Journal of Alloys and Compounds. – 2017. – Vol. 725. – P. 1188–1198.

17. Klimashin F. F. et al. The impact of nitrogen content and vacancies on structure and mechanical properties of Mo-N thin films // Journal of Applied Physics. – 2016. – Vol. 120. – No. 18. – P. 1–10.